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資訊頻道XPlanar 憑借其獨(dú)特的六自由度設(shè)計(jì)、高精度定位能力以及無(wú)與倫比的輸送路徑靈活性，顯著提升了晶圓在不同加工工站間的輸送效率。
針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的磁懸浮式晶圓輸送解決方案
完整視頻鏈接：https://mp.weixin.qq.com/s/EIkKhi5ibATUpfPixyCPBg
XPlanar 憑借其獨(dú)特的六自由度設(shè)計(jì)、高精度定位能力以及無(wú)與倫比的輸送路徑靈活性，顯著提升了晶圓在不同加工工站間的輸送效率。
針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的磁懸浮式晶圓輸送解決方案
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