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1 引言
2000年6月12日，在國家科技部的組織下，“96-748傳感器技術研究”國家重點科技攻關項目進行了項目驗收。與會專家聽取了項目實施組的“項目執行自評估報告”后認為，“96-748傳感器技術研究”經過3年攻關已經圓滿地完成國家攻關項目規定的攻關目標、考核目標和研究內容。本項目共計投入經費6642．37萬元，國家撥款2500萬元。投入科技人員468人／年。通過3年的攻關，共計建成中試生產線12條，其中工程化課題建成中試生產線9條，新產品開發課題建成中試生產線3條，使18個品種75個規格的新產品形成一定規模的中試生產；通過新產品開發，開發了力敏、磁敏、溫度、濕氣敏的51個品種86個規格的新產品，90％的成果進行了批量或小批量生產并供應市場。傳感器的共性關鍵技術包括CAD技術、關鍵制造工藝、微機械加工技術、可靠性技術在生產中得到應用，攻關產品的成品率普遍提高10％以上，可靠性水平提高1-2個等級，建成傳感器實驗室、試驗基地5個；據不完全統計，攻關3年累計銷售各類傳感器1260多萬支，實現銷售收入14418多萬元，取得科研成果59項，總體水平達到國外九十年代中期的先進水平。獲得國家專利32項(其中獲得和受理發明專利11項)，在國內外各類期刊上發表學術論文和研究報告244篇，進行技術轉讓6項，取得較好的成績。
“九五”傳感器科技攻關的指導思想是：一個目標是提高傳感器的技術水平、可靠性水平和產業化程度。二個轉變是向提高企業技術進步轉變，向提高市場占有率轉變。三個結合是共性關鍵技術與應用技術相結合，加快產業化進程；典型產品開發與產品系列化相結合；滿足市場需要；科研開發與成果工程化相結合，實現適度規模生產。
通過攻關，在傳感器的關鍵制造工藝、新產品開發、科技成果的工程化等方面提高了我國傳感器的技術水平，促進了我國傳感器產業的形成，縮小了與世界先進水平的差距。
2 在技術上，取得一批具有自主知識產權的成果
通過攻關，在技術上有所創新，取得一批具有自主知識產權的科技成果，主要是：
(1)復旦大學發明的掩膜-
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