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由西安交通大學(xué)研制的一種硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，能在－30℃～250℃環(huán)境下進行壓力測量，并能承受2000℃瞬時高溫沖擊，從而有效解決了我國航空航天、石油化工、汽車工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下壓力測量的技術(shù)難題。
常規(guī)的硅壓力傳感器只能在120℃以下進行壓力測量，超過120℃時，傳感器的性能會嚴重惡化以至失效，當(dāng)傳感器遇到被測流體大于1000℃瞬時高溫沖擊時，敏感元件就會被燒壞，導(dǎo)致信號處理系統(tǒng)和電路的極度失調(diào)。
西安交大精密工程研究所教授蔣莊德率領(lǐng)課題組經(jīng)過4年的研究，研制成功的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，解決了瞬時高溫沖擊下傳感器失效的難題。這個產(chǎn)品已在有關(guān)單位投入試用，業(yè)界人士認為，該產(chǎn)品成本低、性能穩(wěn)定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高，不僅在靜態(tài)精度、耐高溫工作能力及動態(tài)響應(yīng)能力等技術(shù)指標(biāo)上可與國外同類先進產(chǎn)品媲美，而且在耐瞬時高溫沖擊、工作量程等性能指標(biāo)上有獨到之處，有效解決了長期困擾企業(yè)的高溫下進行壓力測量的難題。
在教育部日前組織的科技成果鑒定中，專家認為這項科技成果屬國內(nèi)首創(chuàng)，打破了國外同類產(chǎn)品對我國傳感器市場的壟斷，提升了我國這一行業(yè)的整體水平和國際競爭力，具有很高的推廣和使用價值。
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號