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泓格半導體產業專用烤箱的溫度控管
  • 廠商:泓格科技
  • 點擊數:1276     發布時間:2024-12-28 21:11:43
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使用泓格DALI轉換器(DGW-521),連接客戶的熱處理系統(Heating System)與DALI溫控器,使客戶的熱風多層爐烤箱,更具節能性以及高穩定性。在手機、平板、大尺寸面板、車用面板等各種不同生產需求下,克服面板溫度制程上的瓶頸,提供面板大廠更具彈性的生產條件。

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使用泓格DALI轉換器(DGW-521),連接客戶的熱處理系統(Heating System)與DALI溫控器,使客戶的熱風多層爐烤箱,更具節能性以及高穩定性。在手機、平板、大尺寸面板、車用面板等各種不同生產需求下,克服面板溫度制程上的瓶頸,提供面板大廠更具彈性的生產條件。


案例介紹

此客戶為臺灣半導體產業烤箱設備廠,利用烤箱的光與熱相關技術,提供PCB電路板、FPD面板與觸控、半導體、電子組裝、印刷、涂裝、鞋業等各大產業的高精度生產設備。而此案例則為面板制程的熱風多層爐烤箱的溫度監控實例分享。


嚴苛的制程條件,烤箱溫度成為質量與良率的關鍵因素

在TFT-LCD大尺寸面板制程中,許多涂布材料須經過烘烤制程,例如:光阻涂布后預烤、顯影后光阻固烤、配向膜涂布后預烤(Pre-bake)、配向膜固烤、框膠預烤。在這些程序中,需要進行熱處理,其溫度則越低越好,且針對不同的程序,其適合的溫度也有所差異。例如:清洗后干燥和光阻涂布后預烤溫度須為 90~120℃,配向膜涂布后預烤和彩色濾光片光阻硬化與燒成溫度應在190~250℃間。

為達成上述條件,所采取方式有批量式和單片式電熱板輸送帶(Hot Plate Conveyor)等兩種,過去往往會因為制程的溫度過高,使得UV膠在固化過程中產生黃化現象降低面板透光度,而影響良率;除TFT LCD外,智能型手機和平板計算機爆發性成長,加上LCD TV、NB、iPad等產品的熱銷,與LTPS、IGZO、OLED、裸視3D、Touch Panel等面板產品的多元化,因此更增添了制程上的復雜度,而烤箱溫度的穩定,則成為質量與良率的關鍵。


ICP DAS DALI網關,PLC與DALI燈控模塊之間的橋梁

在此案例中,客戶所使用的熱風多層爐靠內部數百顆燈管來達成加熱機制。為了讓燈管可隨制程變化,做到隨時調節、轉變,且維持穩定可靠,客戶選擇了DALI燈控模塊進行燈管的管理,并采用不受極性影響的電子式安定器,精密控制燈管輸出功率。然而,熱風多層爐所使用的PLC支持 Modbus RTU通訊協議,無法接收DALI燈控模塊的DALI通訊協議,因此選擇泓格DGW-521 DALI網關來連接PLC與DALI燈控模塊,進而達成溫度管理與燈管異常監控的需求,維持制程條件與良率質量的管控。其系統架構圖如下:

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結語

過去熱風多層爐烤箱市場為國外廠商所壟斷,此客戶制造的熱風多層爐烤箱,突破長期需要仰賴從國外進口主要設備的困境,且符合提高質量與降低成本的要求,大大提升中國臺灣光電產業的競爭力,因此該客戶目前是中國臺灣唯一具有Array/CF/Cell加熱設備供應能力的廠商,也是中國臺灣設備廠商TFT LCD唯一的供貨商。

泓格長期關注新技術研發,產品項目完整,針對各種不同通訊協議的信息轉換需求,皆有可對應的產品,因此能夠滿足客戶系統整合所需。從使用者的角度思考,通過大量累積的經驗,泓格科技將持續提供各領域業者完善的產品與服務。

 

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