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為了進(jìn)一步推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步，服務(wù)黨和國(guó)家的重大戰(zhàn)略需求，2024年9月28日，中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)在西安組織召開2024中國(guó)科協(xié)重大工程技術(shù)難題研討會(huì)，圍繞學(xué)會(huì)推薦入選中國(guó)科協(xié)2024重大工程技術(shù)難題——“大尺寸半導(dǎo)體硅單晶品質(zhì)管控理論與技術(shù)”展開了深入研討并形成了廣泛共識(shí)。

中國(guó)工程院院士、中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)特聘顧問、清華大學(xué)教授吳澄，中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)、上海交通大學(xué)教授、青島科技大學(xué)副校長(zhǎng)李少遠(yuǎn)，西安理工大學(xué)副校長(zhǎng)、教授申燁華，陜西省半導(dǎo)體協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)、教授高勇，中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)常務(wù)理事、晶體生長(zhǎng)國(guó)家地方工程研究中心主任、西安理工大學(xué)教授劉丁，陜西省半導(dǎo)體先導(dǎo)中心主任、教授何曉寧，西安理工大學(xué)新質(zhì)生產(chǎn)力創(chuàng)新中心主任、教授游才印，東北大學(xué)教授劉建昌，航天771所研究員、總工王英民，西安芯暉半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司總經(jīng)理賈元成高工，西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司晶體工藝部長(zhǎng)張鵬舉高工，中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)監(jiān)事、西安交通大學(xué)教授彭勤科，加拿大康考迪亞大學(xué)終身教授張友民，西部超導(dǎo)設(shè)備有限公司李超高工，西安理工大學(xué)相關(guān)部門領(lǐng)導(dǎo)和項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)代表以及相關(guān)行業(yè)及企業(yè)代表供三十余位專家學(xué)者參與座談研討。座談會(huì)由游才印教授和劉丁教授共同主持。

圖1 研討會(huì)現(xiàn)場(chǎng)

西安理工大學(xué)副校長(zhǎng)申燁華教授首先代表學(xué)校致歡迎辭。她向與會(huì)專家學(xué)者表示熱烈歡迎，并簡(jiǎn)要介紹了學(xué)校的發(fā)展歷程、學(xué)科建設(shè)及科研成果。她強(qiáng)調(diào)，本次研討會(huì)旨在匯聚國(guó)內(nèi)外頂尖學(xué)者和行業(yè)專家，共同探討推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體硅單晶生長(zhǎng)控制理論、技術(shù)方法與關(guān)鍵工藝的突破和創(chuàng)新。她還提到，劉丁教授團(tuán)隊(duì)在該領(lǐng)域取得了突破性貢獻(xiàn)，期待通過本次研討會(huì)的深入交流與探討，激發(fā)新的思想火花，推動(dòng)多學(xué)科的交叉融合，為打破國(guó)外技術(shù)壁壘，提高我國(guó)半導(dǎo)體硅單晶產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的科學(xué)化、高效化、實(shí)用化水平貢獻(xiàn)智慧和力量。

中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)李少遠(yuǎn)教授在致辭指出，工程技術(shù)難題的提出是多年研究、設(shè)備研發(fā)、理論轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)合作的結(jié)晶，完全符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實(shí)際需求。他強(qiáng)調(diào)，學(xué)會(huì)一直高度重視中國(guó)科協(xié)重大問題難題征集推薦工作，對(duì)劉丁教授團(tuán)隊(duì)的實(shí)力和前景給予高度評(píng)價(jià)，并強(qiáng)調(diào)了跨學(xué)科研究的重要性。他鼓勵(lì)廣大青年學(xué)者積極參與，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。同時(shí)，建議加強(qiáng)學(xué)科交叉與融合、協(xié)同攻關(guān)，解決難題。

劉丁教授介紹了學(xué)會(huì)組織征集、遴選、推薦重大該工程技術(shù)難題的工作過程。并作“大尺寸半導(dǎo)體硅單晶品質(zhì)管控理論與技術(shù)”專題報(bào)告，詳細(xì)介紹了問題提出的背景意義、主要內(nèi)容以及所面臨的、亟需解決的關(guān)鍵科學(xué)技術(shù)問題與挑戰(zhàn)，并對(duì)本團(tuán)隊(duì)所做工作的研究進(jìn)展及與產(chǎn)業(yè)結(jié)合的情況及進(jìn)一步奮斗的目標(biāo)進(jìn)行了介紹。

圖2 劉丁教授作專題報(bào)告

張鵬舉作為全國(guó)半導(dǎo)體硅單晶片制備領(lǐng)域頭部企業(yè)代表，介紹了西安奕斯偉材料科技股份有限公司的企業(yè)發(fā)展和項(xiàng)目規(guī)劃情況，并針對(duì)“大尺寸單晶硅制備進(jìn)展及晶體缺陷”作報(bào)告，指出當(dāng)前企業(yè)對(duì)于解決半導(dǎo)體單晶硅片品質(zhì)管控問題的高度重視以及迫切需求。

在交流討論環(huán)節(jié)，與會(huì)專家踴躍發(fā)言，深入探討了半導(dǎo)體硅單晶材料制造領(lǐng)域國(guó)際發(fā)展態(tài)勢(shì)、技術(shù)瓶頸與挑戰(zhàn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的制定等核心議題。與會(huì)專家一致認(rèn)為此難題緊扣行業(yè)發(fā)展瓶頸，選題精準(zhǔn)、內(nèi)容詳實(shí)、難點(diǎn)明確，專家們同時(shí)強(qiáng)調(diào)解決此難題實(shí)施多學(xué)科交叉融合的重要性，并從產(chǎn)學(xué)研用等多個(gè)維度出發(fā)，就解決其中的關(guān)鍵問題提出了建設(shè)性的見解和建議，為推動(dòng)行業(yè)進(jìn)步貢獻(xiàn)了寶貴的智慧。

圖3 交流討論

吳澄院士做總結(jié)講話，他對(duì)西安理工大學(xué)劉丁教授團(tuán)隊(duì)的持續(xù)研究給予高度評(píng)價(jià)，并對(duì)其未來發(fā)展寄予厚望。他強(qiáng)調(diào)，大尺寸半導(dǎo)體單晶硅片品質(zhì)管控問題是我國(guó)亟待解決的關(guān)鍵技術(shù)難題，關(guān)系到國(guó)家經(jīng)濟(jì)安全和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。由于硅在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的重要地位，這一問題應(yīng)被視為國(guó)家戰(zhàn)略難題，需要集中力量攻關(guān)。同時(shí)，該問題涉及多學(xué)科交叉、長(zhǎng)產(chǎn)業(yè)鏈，因此需要加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研用等多方面的合作與交流。他呼吁國(guó)家加大對(duì)該領(lǐng)域的支持力度，推動(dòng)工程研究中心的發(fā)展，以期實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破和行業(yè)升級(jí)。

中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)以高質(zhì)量黨建為引擎，深入貫徹“四個(gè)面向”戰(zhàn)略，推動(dòng)自動(dòng)化技術(shù)賦能國(guó)家重要產(chǎn)業(yè)發(fā)展，促進(jìn)我國(guó)半導(dǎo)體硅單晶制備技術(shù)突破。研討會(huì)精準(zhǔn)對(duì)接國(guó)家科技決策和行業(yè)關(guān)鍵難題，助力關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)成果與推廣應(yīng)用。學(xué)會(huì)將整合成果、編纂建議報(bào)告，為國(guó)家科技規(guī)劃提供智力支撐，助力我國(guó)發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，實(shí)現(xiàn)在半導(dǎo)體硅單晶材料領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)新跨越。

來源：中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)