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應(yīng)用案例 | 靈活的單晶爐自動化生產(chǎn)助力企業(yè)提升競爭力
晶盛機電主要使用 TwinCAT 2 控制軟件,但對于某些項目需要使用新功能時,可以方便地切換到 TwinCAT 3 軟件平臺。在進行切換時,只需對代碼稍作改動,就可以擴展和升級原有項目。此外,TwinCAT 還支持多種通信協(xié)議,可以實現(xiàn)主控制系統(tǒng)與加熱系統(tǒng)和磁場產(chǎn)生系統(tǒng)等子系統(tǒng)的通信。這樣可以無縫地傳輸和共享信息,提高系統(tǒng)的整體效率和協(xié)同性。
關(guān)鍵詞:

浙江晶盛機電股份有限公司最早是使用單獨的過程和溫度控制系統(tǒng)來控制半導(dǎo)體單晶硅生長過程。自從改用了倍福基于 PC 的控制技術(shù)后,不僅節(jié)省了成本,而且其可擴展性也使項目的實施變得更加便捷。TwinCAT 軟件還能為客戶的知識產(chǎn)權(quán)保護注入附加值。


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浙江晶盛機電股份有限公司(以下簡稱:晶盛機電)總部位于中國浙江省,是全球領(lǐng)先的光伏和半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。晶盛機電憑借其優(yōu)異的設(shè)備工藝和多年積累的豐富行業(yè)經(jīng)驗,長期位列全球長晶設(shè)備龍頭。過去,晶盛機電一直使用傳統(tǒng)的 PLC 和溫度控制器實現(xiàn)單晶爐的自動化。但溫度控制器的功能有限,并且與 PLC 結(jié)合使用時靈活性太差。因此,晶盛機電轉(zhuǎn)而采用倍福控制平臺,它由嵌入式控制器、TwinCAT 自動化軟件和各種 EtherCAT 端子模塊構(gòu)成,并結(jié)合 EtherCAT 工業(yè)以太網(wǎng)總線,能夠輕松、靈活地連接各類現(xiàn)場設(shè)備。這種集成式控制平臺取代了兩臺獨立的設(shè)備,可以更靈活地滿足客戶的個性化需求。


穩(wěn)定的工藝控制是重中之重


單晶生長需要特定的溫度條件。硅原料首先在熔爐中被加熱熔化成液態(tài)硅,然后提拉頭上的單晶籽晶被浸入熔融的硅液中,開始進行晶體生長。熔融硅液必須保持在一定溫度,緩慢旋轉(zhuǎn)籽晶,并向上提拉,使熔融硅液凝固,逐漸長大到所需直徑的單晶硅錠。半導(dǎo)體單晶硅的優(yōu)點是其取向非常均勻,因此具有較高的轉(zhuǎn)換效率,它們被切割成硅片后可用于制作太陽能電池組件。


這需要精確的順序控制和長時間(數(shù)天至半個月)穩(wěn)定的生長過程控制。其中,溫度控制尤為重要,因為溫度不均勻可能會導(dǎo)致多晶材料在生長時出現(xiàn)晶格結(jié)構(gòu)缺陷。單晶爐持續(xù)運行時,控制系統(tǒng)需要處理大量數(shù)據(jù)。不過,這對于倍福的嵌入式控制器來說不成問題。適合 DIN 導(dǎo)軌安裝的工業(yè)級控制器在惡劣的環(huán)境條件下表現(xiàn)相當(dāng)出色。晶盛機電一開始使用的是 CX1030 嵌入式控制器,隨著項目需求的增加,目前采用 CX9020 或 CX8190 作為中央設(shè)備控制器。隨著 CPU 性能的不斷提升,倍福控制器的性能也逐年增強,幫助晶盛機電不斷優(yōu)化和提升其控制系統(tǒng),從而提高了產(chǎn)品競爭力。


晶盛機電主要使用 TwinCAT 2 控制軟件,但對于某些項目需要使用新功能時,可以方便地切換到 TwinCAT 3 軟件平臺。在進行切換時,只需對代碼稍作改動,就可以擴展和升級原有項目。此外,TwinCAT 還支持多種通信協(xié)議,可以實現(xiàn)主控制系統(tǒng)與加熱系統(tǒng)和磁場產(chǎn)生系統(tǒng)等子系統(tǒng)的通信。這樣可以無縫地傳輸和共享信息,提高系統(tǒng)的整體效率和協(xié)同性。


晶盛機電高級專家王先生對倍福軟硬件平臺給予了很高的評價:“TwinCAT 軟件成熟穩(wěn)定,其靈活的編程方式方便處理各類數(shù)據(jù)。此外,基于 PC 的控制架構(gòu)簡化了控制器與集控系統(tǒng)的連接,從而簡化了生產(chǎn)系統(tǒng)和企業(yè)系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)交換。”


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單晶爐不間斷穩(wěn)定運行數(shù)天至兩周是確保高質(zhì)量半導(dǎo)體單晶生長的重要前提


由于 EtherCAT 具有實時通信能力,晶盛機電可以從眾多可用的 EtherCAT 端子模塊中進行選擇。

王先生解釋道:“EtherCAT 的分布式 I/O 模塊給項目帶來了極大的便利,拓撲結(jié)構(gòu)靈活不受限制,具有非常多樣的配置選擇。我們可以根據(jù)不同項目的需求與成本進行選擇。倍福的 EtherCAT 產(chǎn)品簡單易用且兼容性好,可替換不同廠家的從站產(chǎn)品,在保證 EtherCAT 產(chǎn)品一致性前提下完全不影響整體性能和穩(wěn)定性。由于 EtherCAT 無需交換機或其它有源器件,安裝和維護成本大大降低,同時也簡化了系統(tǒng)的布線和調(diào)試工作。”


多任務(wù)處理便于程序加密


單晶爐控制程序的核心之一是溫度控制,客戶需要高度保密這部分知識產(chǎn)權(quán)。TwinCAT 模塊化自動化軟件的優(yōu)勢在于,用戶可以方便地將整套控制程序根據(jù)其重要性,分離出多套子任務(wù)程序由不同用戶獨立管理。不同子任務(wù)程序的數(shù)據(jù)交換可通過變量映射實現(xiàn)。這些任務(wù)將在 TwinCAT 的 Runtime 中被調(diào)用。這種模塊化的設(shè)計使得系統(tǒng)的維護和開發(fā)更加靈活和高效。晶盛機電采用多 PLC 任務(wù)處理,將核心工藝算法封裝在單個 PLC 程序中。為了保護核心算法程序的安全性,晶盛機電將程序保存為無法反編譯的二進制代碼。此外,程序部署也非常方便,只需要復(fù)制這些二進制代碼文件到目標(biāo)控制器上,即可實現(xiàn)程序的下載。


隨著新一輪技術(shù)創(chuàng)新的迭代升級,王先生說道:“晶盛機電推出了基于開放平臺架構(gòu)的第五代單晶爐,其最大的亮點在于改變了傳統(tǒng)的封閉控制系統(tǒng)模式,配置了基于開放架構(gòu)的用戶可編程的軟件定義工藝平臺。該平臺可以基于 TwinCAT 的 Automation Interface 功能通過高級語言編程自動創(chuàng)建 TwinCAT XAE 組態(tài)實現(xiàn)。終端客戶可根據(jù)平臺接口,將自己的特殊制程工藝制作成模塊供平臺調(diào)用。這大大提高了終端用戶開發(fā)個性化工藝的能力,助力他們在技術(shù)上持續(xù)創(chuàng)新提升競爭力。”


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2023 年,晶盛機電代表團訪問了倍福威爾總部(從左到右):何超博士(負責(zé)倍福中國的區(qū)域銷售經(jīng)理,來自倍福德國總部)、華長盛博士(倍福中國數(shù)據(jù)科學(xué)與工程部經(jīng)理)、馬興凱(倍福中國總經(jīng)理)、Hans Beckhoff(倍福全球總裁)、曹建偉博士(晶盛機電董事長)、涂瑾(晶盛機電總裁助理)和 Kai Ristau(倍福全球銷售總監(jiān))


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