近日,由成都太科光電技術(shù)有限責(zé)任公司承擔(dān)的國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項(xiàng)目“超光滑表面無損檢測儀”在成都高新區(qū)啟動(dòng)。該項(xiàng)目將通過專項(xiàng)帶動(dòng),集成國內(nèi)優(yōu)勢力量重點(diǎn)創(chuàng)新,解決高精度超光滑表面無損檢測的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸,實(shí)現(xiàn)高端超光滑表面無損檢測儀器國產(chǎn)化,打破國外技術(shù)壟斷。
據(jù)了解,“超光滑表面無損檢測儀”是國家“十三五”重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項(xiàng)目,獲得科技部2000萬元、成都高新區(qū)200萬元資金支持,由企業(yè)牽頭,協(xié)同國內(nèi)多家技術(shù)實(shí)力雄厚的大學(xué)、研究所和企業(yè)形成產(chǎn)、學(xué)、研、用相結(jié)合的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)共同實(shí)施,主要用于高精度非接觸測量,可廣泛應(yīng)用于高速集成電路、微電子集成電路等基片彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數(shù)的快速檢測。
摘自《中國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)報(bào)》