日本在线www-日本在线播放一区-日本在线不卡免费视频一区-日本在线不卡视频-成人影院久久久久久影院-成人影院一区二区三区

ABB
關注中國自動化產業發展的先行者!
CAIAC 2025
2025工業安全大會
OICT公益講堂
當前位置:首頁 >> 資訊 >> 行業資訊

資訊頻道

中國科學家自主研制成功新型光刻機 取得專利20余項
  • 點擊數:3019     發布時間:2016-03-25 10:23:00
  • 分享到:
關鍵詞:

來源:新華社

新華社成都3月23日電記者23日從中科院光電技術研究所獲悉,該所微電子專用設備研發團隊自主研制成功紫外納米壓印光刻機。

據中科院光電所微電子裝備總體研究室主任胡松介紹,該所自主研發的新型光刻機,將納米壓印這一新型高分辨力光刻技術,與具有低成本、高效率特點的紫外光刻技術有機結合。

記者了解到,這套設備采用新型納米對準技術,將原光刻設備的對準精度由亞微米量級提升至納米量級。對準是光刻設備三大核心指標之一,是實現功能化器件加工的關鍵。該所在國家自然基金的連續資助下,完成基于莫爾條紋的高精度對準技術自主研發,取得專利20余項。

“該技術在光刻機中的成功應用突破了現有納米尺度結構加工的瓶頸問題,為高精度納米器件的加工提供了技術保障。”胡松說。

據悉,該設備可廣泛應用于微納流控芯片加工、微納光學元件、微納光柵、NMEMS器件等微納結構器件的制備,具有廣闊的應用前景,目前已完成初試和小批生產,并已在高校與企業用戶中推廣。


熱點新聞

推薦產品

x
  • 在線反饋
1.我有以下需求:



2.詳細的需求:
姓名:
單位:
電話:
郵件:
主站蜘蛛池模板: 四虎影视免费在线观看-四虎影视免费在线-四虎影视免费看-四虎影视免费观看免费观看-激情影院在线-激情影院费观看 | a级国产精品片在线观看-a级国产乱理伦片野外-a级国产乱理伦片在线观看a-a级国产乱理片在线观看-a级国产片-a级国产视频 | 福利视频欧美一区二区三区-福利视频欧美-福利视频你懂的-福利视频导航网址-福利视频导航网-福利视频导航大全 | 国产 在线 | 日韩,精品一区二区三区的国产在线观看,亚洲国产精品日韩在线,国产视频在,青青国产成人久久91网站站,国内精品视频免费观看 | 欧美日韩亚洲无线码在线观看,国产成人亚洲综合91精品555,欧美成人国产,国产成人青青热久免费精品,亚洲欧美日韩色图,国产三级网站在线观看 | 欧洲亚洲日本-欧洲亚洲视频-欧洲亚洲一区-欧洲亚洲一区二区三区-国产精品第九页-国产精品第六页 老司机午夜精品网站在线观看-老司机午夜精品视频在线观看免费-老司机午夜精品视频观看-老司机午夜精品视频播放-一本色道久久88一综合-一本色道久久88综合日韩精品 | 人妻不敢呻吟被中出A片视频-人妻超级精品碰碰在线97视频-人妻换人妻AA视频-人妻寂寞按摩中文字幕-人妻精品国产一区二区-人妻久久久精品99系列A片毛 | 老司机亚洲精品影院-老司机午夜在线视频-老司机午夜影院-老司机午夜网站-亚洲国产精品热久久2022-亚洲国产精品毛片∧v卡在线 | 亚洲日本中文字幕在线-亚洲日本中文字幕区-亚洲日本中文字幕-亚洲日本中文-免费jizz在在线播放国产-免费jizz在线播放视频 | 天堂网在线最新版www-天堂网在线资源-天堂网在线看-天堂网在线观看视频-日本精品无码特级毛片-日本精品无码一区二区三区久久久 | 欧美极品videosvideohd-欧美极品videosex性欧美-欧美极品jizzhd欧美4k-欧美极品brazzers 高清-伊人久久中文-伊人久久香 | 麻豆高潮AV久久久久久久-麻豆高清免费国产一区-麻豆国产13p-麻豆国产96在线日韩麻豆-麻豆国产AV尤物网站尤物-麻豆国产精品AV色拍综合 | 亚洲另类电击调教在线观看-亚洲理论片在线中文字幕-亚洲看黄-亚洲卡一卡2卡三卡4麻豆-韩国xxxxx视频在线-韩国mmwutv福利视频 | 精品国产互换人妻麻豆-精品国产经典三级在线看-精品国产精品人妻久久无码五月天-精品国产九九-精品国产剧情AV在线观看-精品国产露脸久久AV麻豆 | 竹菊影视一区二区三区-竹菊一区二区-竹菊一区-重口味调教-另类小说h-另类小说 成 人 色综合 | 国语自产视频在线一区二区-国语自产偷拍-国语自产偷拍精品-国语自产偷拍精品视-国语自产偷拍精品视频-国语自产偷拍精品视频蜜芽 99欧美在线-99碰碰-99青草-99青草青草久热精品视频-99青青-99青青草 | av资源每日更新网站在线-av资源免费每日更新-av资源在线-av资源在线播放-av资源在线播放韩国-av资源在线观 | 尤物tv-呦导航福利精品-永久在线视频-永久在线免费-欧美精品在线看-欧美精品在线观看视频 | 一个色综合高清在线观看-一个色在线视频-一个色在线-一个人在线免费观看www-久久99网-久久99视频免费 | 亚洲精品色情影片-亚洲精品沙发午睡系列-亚洲精品深夜AV无码一区二区-亚洲精品天堂在线观看-亚洲精品偷拍AV一区二区-亚洲精品偷拍影视在线观看 | 老司机亚洲精品影院-老司机午夜在线视频-老司机午夜影院-老司机午夜网站-亚洲国产精品热久久2022-亚洲国产精品毛片∧v卡在线 | 91精品国产综合久久久久-91精品国产综合久久久久久-91精品国产综合久久青草-91精品国产综合久久婷婷-91精品国产综合久久香蕉-91精品国产综合久久消防器材 | 2015天堂网-2014天堂网-19国产精品麻豆免费观看-18视频在线观看网站-18黄免app网站-18成网站www在线观看 | 国产精品成av人在线观看片-国产精品成久久久久三级-国产精品成久久久久三级四虎-国产精品成久久久久三级无码-国产精品成年片在线观看-国产精品成人 | 欧美激情中文字幕一区二区-欧美激情在线精品video-欧美激情影院-欧美激情一区二区三区在线-欧美激情一区二区三区视频高清-欧美激情一区二区三区视频 | 亚洲第一视频网,久久91精品国产99久久yfo,国产精品一区二区三区免费,成人欧美一区二区三区黑人,在线观看国产精品入口,亚洲人一区 | 久热久热精品在线观看-久青草影院-久青草国产在线视频亚瑟影视-久青草国产在线视频-正在播放黑人杂交派对卧槽-正在播放国产尾随丝袜美女 | 亚洲精品成人一区-亚洲精品成人网久久久久久-亚洲精品成人久久久影院-亚洲精品成人久久-黑人巨大白妞出浆-黑人巨大vs小早川怜子 欧美日韩亚洲无线码在线观看,国产成人亚洲综合91精品555,欧美成人国产,国产成人青青热久免费精品,亚洲欧美日韩色图,国产三级网站在线观看 | 国产精品jlzz视频-国产精品jizz在线观看直播-国产精品jizz在线观看网站-国产精品jizz在线观看软件-日日爽夜夜操-日日爽天天干 | 精品久久久久久久中文字幕,日韩欧美国产电影,日韩国产欧美一区二区三区在线,青青草原国产一区二区,日本成人久久,欧美在线视频二区 | 免费的成人a视频在线观看-免费岛国小视频在线观看-免费岛国-免费大香伊蕉在人线国产-免费大片黄在线观看日本-免费大片黄手机在线观看 | 欧美在线一,91成人爽a毛片一区二区,在线播放国产精品,亚洲欧美日韩高清,zozozo欧美人禽交另类视频,久久精品无码一区二区日韩av | kedou.xxx-lutube成人福利在线观看-luxu259在线中文字幕-m3u8久久国产精品影院-meisa hanai-mimiai最新网址 | 久久久久久久久久久久久久,免费福利资源站在线视频,午夜精品久久久久久影视riav,黄色的视频免费观看,国产人成免费视频,国产福利小视频 | 久久99国产亚洲高清-久久99国产亚洲高清观看首页-久久99国产亚洲精品观看-久久99国产一区二区-久久99国产一区二区三区-久久99国产综合精品 | 欧美在线一,91成人爽a毛片一区二区,在线播放国产精品,亚洲欧美日韩高清,zozozo欧美人禽交另类视频,久久精品无码一区二区日韩av | 美女三级毛片-美女牲交视频一级毛片无遮挡-美女视频大全视频a免费九-美女视频黄a视频全免费网站色窝-美女视频黄的全是免费-美女视频秀色福利视频 | 国内精品免费久久影院-国内精品蜜汁乔依琳视频-国内精品乱码卡一卡2卡三卡新区-国内精品乱码卡一卡2卡三卡-亚洲国产精品第一影院在线观看-亚洲国产精品VA在线看黑人 | 亚洲精品在线观看视频-亚洲精品在线观看-亚洲精品在线第一页-亚洲精品在线播放视频-护士伦理-护士撩起裙子让你桶的视频 | 日本特黄一级-日本特黄特色aa大片免费-日本特黄特色aaa大片免费-日本特黄特黄aaaaa大片-二级特黄绝大片免费视频大片-二级片在线观看 | 国产欧美精品一区二区三区四区-国产欧美精品一区二区三区-国产欧美精品一区二区-国产欧美精品系列在线播放-天天爽天天-天天视频一区二区三区 |