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由西安交通大學研制的一種硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，能在－30℃～250℃環境下進行壓力測量，并能承受2000℃瞬時高溫沖擊，從而有效解決了我國航空航天、石油化工、汽車工業等領域高溫環境下壓力測量的技術難題。
常規的硅壓力傳感器只能在120℃以下進行壓力測量，超過120℃時，傳感器的性能會嚴重惡化以至失效，當傳感器遇到被測流體大于1000℃瞬時高溫沖擊時，敏感元件就會被燒壞，導致信號處理系統和電路的極度失調。
西安交大精密工程研究所教授蔣莊德率領課題組經過4年的研究，研制成功的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，解決了瞬時高溫沖擊下傳感器失效的難題。這個產品已在有關單位投入試用，業界人士認為，該產品成本低、性能穩定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高，不僅在靜態精度、耐高溫工作能力及動態響應能力等技術指標上可與國外同類先進產品媲美，而且在耐瞬時高溫沖擊、工作量程等性能指標上有獨到之處，有效解決了長期困擾企業的高溫下進行壓力測量的難題。
在教育部日前組織的科技成果鑒定中，專家認為這項科技成果屬國內首創，打破了國外同類產品對我國傳感器市場的壟斷，提升了我國這一行業的整體水平和國際競爭力，具有很高的推廣和使用價值。
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號