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    在2008歐洲半導體設備與材料產業展覽會上，杜邦高性能彈性體公司（DPE）重點推出專為半導體熱處理過程開發的最新Kalrez 8900全氟彈性體部件。Kalrez 8900部件實現了在更高溫度半導體制造過程中更長的密封壽命，減少了昂貴的設備停工時間，降低了設備擁有成本。

    DPE還公布了Kalrez 9100部件最近在沉積、蝕刻、灰化/剝離等制程上的成功商業化，并推出了可提高光伏生產密封可靠性的Kalrez產品。

新型Kalrez 8900部件

    在半導體熱處理工藝:如氧化、擴散爐、CVD、ALD 和LPCVD等的靜態和動態的密封應用中，Kalrez 8900部件使設備運轉時間更長，表現優于傳統工業設備維護標準。其綜合性能可有效地延長設備密封壽命、提高產品質量和產能。

    Kalrez 8900部件即使在最高325攝氏度的環境下持續運作也表現出優異的熱穩定性，極少漏氣，抗溫度循環影響表現也很出色，因而該產品已在各種嚴苛的半導體加工應用中成功通過測試，這些測試通常都在300攝氏度以上的高溫環境下進行。推薦的應用領域包括石英管密封、高壓密封、密封筒和中央環密封。

    此次為嚴苛熱環境推出的Kalrez 8900部件使杜邦高性能彈性體的全氟彈性體產品系列更為完善，該系列產品包括Kalrez 9100、Kalrez Sahara 8085、Kalrez 8002和Kalrez 6375UP等，已在晶片加工中有出色表現的產品。

    Kalrez 9100 

    DPE Kalrez 9100全氟彈性體部件是最新的半透明琥珀色產品，專門針對在HDPCVD、PECVD、蝕刻、灰化/剝離制程以及非晶/微晶硅電池沉積工藝中的低腐蝕和超低顆粒要求而開發。Kalrez 9100部件在以上環境中表現出超長的壽命，減少昂貴的設備停工損耗并降低設備維護成本。

    位于美國得克薩斯州奧斯汀的全球領先的閃存供應商Spansion公司，最近通過在使用腐蝕性的SiH4, O2,He加工環境和NF3及O2等離子體的兩步清洗化學品的Fab 25工廠中改用Kalrez 9100產品，成功的改善了原先的設備檢修周期，使產量提高超過20%，設備維修成本也顯著降低。

    類似的關于Kalrez 9100部件的應用案例還包括：

    IMEC，硅加工及設備技術部

    奇夢達，Kalrez 9100現在已被選擇為其11個不同的DTE chamber密封套件提供密封件，并且正考慮在其他四個部位的應用。

    Kalrez部件應用于光電制造

    不論在晶片型還是薄膜型光伏生產過程中，Kalrez 部件均具有廣泛的化學兼容性和優良的熱穩定性。Kalrez部件可幫助使用等離子體、高溫和腐蝕性學品的重要光伏晶片加工設備提高密封可靠性。光伏制造商們為了延長正常運行時間、提高產量，開始使用更有效同時更具腐蝕性的化學品和更高的溫度，使得制造工藝面臨更多的壓力。由于密封材料的不相容而導致的計劃外維護，會干擾生產計劃、造成停工。由于需要更少的預防性設備維護(PM)，Kalrez 全氟彈性體部件可顯著減少停機時間，提高生產力，降低生產環境中的設備維修成本。

    Kalrez 密封件系列的四個產品組可用于光伏生產工藝，同時也可用于多晶硅原料生產和減排系統：

    Kalrez PV8030：用于表面結構處理、聚硅酸鹽去除和“濕”洗滌/減排應用。

    Kalrez PV8050：用于邊緣隔離、電弧噴涂、CIS/CIGS和碲化鎘電池膜以及TCO沉積工藝。

    Kalrez PV8070：用于摻雜，鍍金屬，和CIS/CIGS電池膜層沉積工藝。 

    Kalrez 9100：用于非晶/微晶硅電池膜沉積工藝。

    集成生產

    DPE集成了從聚合物開始的生產過程，以增強質量控制和產品研發。Kalrez 全氟彈性體部件是在獲得ISO 9000認證的設施中生產的，可生產從傳統密封形狀和組合門封到客戶定制件，范圍廣泛的成品部件。產品在符合Class 100標準的工作站里經過特別清潔并使用雙層包裝，大大減少了被污染的可能性。為了確保可追溯性，每件產品都在有條形碼的袋子中獨立包裝。可供產品形狀包括O型圈、密封墊片和客戶定制密封件。