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    根據MOCVD控制系統的具體工藝要求，我們自主研發設計了基于PLC的MOCVD控制系統，該系統采用上位機和可編程控制器實現整個系統的控制和管理，現場試驗運行表明該系統性能穩定，響應快速。

2 系統的組成及實現原理
    本系統主要由計算機、Siemens PLC S7-300（控制單元的核心），溫度控制系統、氣體處理系統、反應室等組成。控制系統的基本結構見圖1所示。

2.1上位機
    選用工業控制計算機作為上位機,利用WINCC 工控組態軟件通過MPI 和PLC 進行通訊,從PLC 得到信息,同時向PLC 傳送命令，其負責對系統的監控、數據記錄、報警記錄、數據分析，參數配置。

2.2 PLC
    選用PLC 作控制器,是因為其具有可靠性高、抗干擾能力強、硬件配套齊全、維護方便、適合于惡劣的工業應用環境等特點。PLC作為系統的核心控制器，負責整個系統運行，包括各種信號的采集、數據的處理以及各種輸出信號的控制。輸入信號采集包括各類儀表傳感器的流量、壓力、報警信號等。輸出信號涉及電磁閥、接觸器、電動機、壓力控制器、流量控制器、RF感應加熱器等控制量。

2.3 溫度控制系統
    溫控器、感應加熱器、上位機、PLC組成了系統的溫度控制系統。這里的溫控系統是一個閉環控制系統，溫控器通過熱電偶實時地采集反應室的溫度，由RS232串口反饋給上位機，經過上位機的控制算法處理后，計算出合適的控制量，傳送給PLC，由PLC運行程序控制感應加熱器來控制反應室的溫度。

2.4 氣體處理系統
    氣體處理系統其硬件主要有經過化學拋光的不銹鋼管道、氣體純化器、流量控制器、壓力控制器、電磁閥和氣動閥等組成。氣體控制系統的主要作用是通過控制壓力和流量控制器，調節氣路上各種閥門的開度，從而達到控制各種氣源配比的目的，并通過管道向反應室輸送反應劑，為保證反應劑的純度，要求管道的密封性要很好。

    氣路上壓力與流量的控制均由壓力和流量控制器來完成。傳感器將采集來的實際測量值傳送給控制系統，控制系統將采集的實際值，實時與設定值比較。如果用戶對控制效果不滿意，可以采用閉環回路控制，實時修改傳送的設定值。

3 系統軟件設計
    系統的控制主要指通過PLC對信號進行自動和手動的控制，從而實現對加熱系統、氣體流量和氣體壓力、氣動閥等的控制。我們設計的MOCVD控制系統有自動控制程序和手動控制程序兩種控制方式，自動和手動可以互相切換控制。其子程序主要包括步序控制，模擬量輸出控制，模擬量輸入控制，數字量輸出控制，數字量輸入控制。

3.1 步序控制
    在MOCVD控制系統中，根據不同的配方，所控制的步運行時間不同，所要求的循環位置都不同。本系統設計方案的一個設計難點，就是在編寫程序的時候，無法預先確知循環體的開始及停止位置，如何編寫一個可以供多種不同配方使用的程序。

    針對MOCVD 系統工藝的要求，結合本系統運行流程，采用順序控制設計法來控制不同步之間的動作和命令，執行不同步序循環控制策略。該方法靈活、準確地采用一個循環控制程序，根據不同配方，在不同循環位置，實現不同功能。其最基本的思想是將系統的工作周期劃分為50 個順序相連的階段，這些階段稱為步（Step），然后用編程元件（存儲器位M）來代表各步，每步設定運行開始標志位和結束標志位，進入循環標志位和循環結束標志位，步之間的轉換條件可以是外部中斷輸入“前跳”信號，或者是每步運行的定時器提供的信號。

    對于處理不確定的循環位置問題，在每步結束時,判斷該步循環結束標志位是否為1，如果不為1，則直接跳到下一步運行，如果為1 再讀取剩余循環次數是否為0，如果為0 則跳到下一步運行，如果不為0 則剩余循環次數減1，跳到進入循環的步序運行。其算法流程如圖2 所示。

3.2 模擬量輸出控制
    模擬量輸出，主要包括8路壓力、20路流量以及溫度。在模擬量輸出中，防止沖擊是一項很重要的指標。為了防止沖擊，輸出時采用爬行漸增的輸出控制策略，使模擬量的輸出在額定時間內，準時漸增到所需要的輸出值，每一次所遞增的量要盡量的小，以降低沖擊的可能性，保證生長的進行。

    基本思想：每步運行開始時，讀取步序號并調用該步的模擬量的目標設定值（IN2），前級步結束的輸出值（IN1）及要爬升的步數（D），求出步進量S＝（IN2-IN1）/D,再判斷實際值和設定值的大小，決定實際值是加上或者減去步進量，然后再判斷實際值是否達到設定值，如果滿足則結束本步爬升。分兩種情況考慮，步進量為大于等于0或為負，如圖3所示為步進量S為大于等于0的程序算法流程圖。

    模擬量輸出程序主要采用語句表（STL）的編程方法，它是一種類似于匯編的語言，執行速度高于梯形圖，占用內存空間小，能夠解決復雜的循環及跳步。針對于本系統多模擬量，步序復雜且循環不定，而CPU內存有限，此方案能很好的解決這個問題。

3.3 模擬量輸入控制
    MOCVD 控制系統有29 路模擬輸入量，如果全部用模擬量輸入模塊直接輸入，需要29 點的輸入。這樣設計成本較高，考慮到本系統對模擬量采集實時性要求不高，采用ADG408 譯碼選擇通道，分時輸入。每個ADG408 可以接入8 路模擬量信號，使用4 個模擬量通道，就可以輸入32 路模擬量，本方案中模擬量輸入子系統的成本可以大幅度降低。在系統實時性要求不高的情況下是一種較佳的選擇。

    模擬量輸入子程序采用多路分時選擇輸入方案，通過譯碼器在某一時刻選擇其中的一路作為輸出傳送到模擬量輸入模塊上的一個通道。ADG408 芯片譯碼選通和PLC 模擬輸入量讀數處理，在時序上應該嚴格區分，避免讀數混亂。保證在譯碼選通和PLC 讀數的任何時刻，僅有一路模擬輸入量處于選通及輸入讀數狀態。如圖4 所示，8 路模擬量AI1—AI8,接入ADG408 中，編寫程序輸出數字量信號控制ADG408 的使能端EN,信號控制端A2、A1、A0，從而實現分時選擇多路模擬量中的一路，將其輸入到PLC 的模擬量輸入模塊中，數據進行相應的存儲及處理。

3.4 數字量輸出控制
    數字數出量的控制對象主要由電磁閥、接觸器、電機、氣動閥等。對于數字量輸出控制，其程序設計思想，在每步開始的時候，從相應的數據區中，調用本步對應數字量的數據，同時為了實現上位機實時控制的功能，首先判斷上位機監控系統是否實時修改某個數字量的輸出值，如果上位機修改了， 則數字量的有效輸出值以上位機修改值為準，否則按配方表的配方設定的進行輸出。

3.5 數字量輸入控制
    數字量輸入控制主要指系統的報警及故障處理程序，報警程序設計包括自動和手動。報警信號由傳感器檢測，傳送給PLC，程序根據報警信號做出相應的安全保護動作，給出觸發信號使報警信號燈亮，蜂鳴器響，暫停系統運行，切斷感應加熱器、或者關閉相應的流量壓力控制器。

4 結論
    本文提出的控制系統應用于西安電子科技大學第二代MOCVD系統，相對于第一代MOCVD控制系統，特別在步序子程序設計和模擬量輸出控制上有了很大的改進，在步序控制上采用順序控制設計法來控制不同步之間的動作和命令，相對于第一代移位控制方法[2>，步序控制法對于解決復雜循環的問題，更加靈活、可靠。在模擬量輸出控制上采用PLC語句表（STL）的編程方法，編寫模擬量漸進爬升子程序，解決了在第一代系統中，大量的模擬量輸出由上位機來計算處理再通過PLC進行控制，造成上位機負載過大，控制延遲，響應速度較慢的問題。系統現場試驗運行表明，該控制系統穩定、快速、安全，完全滿足工藝的要求，具有很高的應用價值，同時本系統的研制成功將促進國內微電子行業的發展，在國內居于領先地位。

本文作者創新點:本文提出了一種基于PLC的MOCVD控制系統的設計及實現。特別是在軟件程序設計上運用了先進的控制思想，采用順序控制法解決了MOCVD系統中對于復雜步序的控制，在模擬量輸出控制上采用了PLC的語句表（STL）編程方法，來編寫模擬量漸進爬升子程序，其處理速度快于梯形圖，內存占用少，解決了模擬量輸出防止沖擊的可能。本系統提出的控制方案，完全滿足了系統工藝的要求。