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基于PMAC控制器的直線電機性能研究
  • 企業(yè):控制網(wǎng)     領(lǐng)域:工業(yè)安全     行業(yè):建筑樓宇    
  • 點擊數(shù):2516     發(fā)布時間:2007-07-29 10:50:01
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本文講述了PMAC運動控制器及直線電機原理,著重介紹基于PMAC控制器的直線電機PID調(diào)節(jié),并通過實驗加以驗證。



(蘇州大學機電工程學院,江蘇 蘇州  215606)    田會峰,劉文杰,梁林祖 
田會峰(1980—)
男,安徽蕭縣人,碩士研究生 ,研究方向為自動控制。

    近年來,隨著自動控制技術(shù)和微型計算機的高速發(fā)展,對各類自動控制系統(tǒng)的定位精度提出了更高的要求,在這種情況下,傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機再加上一套變換機構(gòu)組成的直線運動驅(qū)動裝置,已經(jīng)遠不能滿足現(xiàn)代控制系統(tǒng)的要求,為此,近年來世界許多國家都在研究、發(fā)展和應(yīng)用直線電機,使得直線電機的應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣。

1 PMAC控制器簡介

    PMAC(Programmable Multi-axis Controller)是美國Delta Tau公司在上世紀九十年代推出的一種開放式多軸運動控制器。它是一種以DSP為核心的擁有高性能伺服控制器,可以通過靈活的高級語言最多控制八軸同時運動,并提供了運動控制、離散開展、內(nèi)務(wù)處理、同主機交互等基本功能。

    PMAC是一臺完整的計算機,它還是一臺實時多任務(wù)的計算機,能自動對任務(wù)進行等級判斷,從而使具有高優(yōu)先級的任務(wù)比具有低優(yōu)先級的任務(wù)先被執(zhí)行。它的速度、分辨率等指標遠優(yōu)于一般控制器。伺服控制包括PID加Notch和速度、加速度前饋控制??蛇B接MACRO現(xiàn)場總線的高速環(huán)網(wǎng),直接進行生產(chǎn)線的連動控制。

    與其他運動控制器相比,PMAC的最大特點是開放性。允許用戶根據(jù)自己的用途使用內(nèi)部寄存器。PMAC的A/D和I/O與內(nèi)部寄存器一樣是統(tǒng)一編址,可以像使用PMAC其它內(nèi)存一樣來操作A/D和I/O,使用非常方便。內(nèi)部寄存器和A/D、I/O的地址既可以使用PMAC的默認值,也可以由用戶重新定義,以滿足不同的需要。

2  直線電機的結(jié)構(gòu)與基本工作原理

    2.1  直線電機的結(jié)構(gòu)

    直線電機的直線電機是一種將電能轉(zhuǎn)換成直線運動機械能,而不需要任何中間轉(zhuǎn)換機構(gòu)的傳動裝置。  直線電機的結(jié)構(gòu)如圖  1所示。



圖1   直線電機結(jié)構(gòu)
1 初級    2 次級  3行波磁場

    2.2 直線電機基本工作原理

    直線電機的三相繞組中通入三相對稱正弦電流后,也會產(chǎn)生氣隙磁場。當不考慮由于鐵心兩端開斷而引起的縱向邊端效應(yīng)時,這個氣隙磁場的分布情況與旋轉(zhuǎn)電機相似,即可看成沿展開的直線發(fā)向呈正弦形分布。當三相電流隨時間變化時,氣隙磁場將按A、B、C相序沿直線移動。這個原理與旋轉(zhuǎn)電機相似,二者的差異是:這個磁場是平移的,而不是旋轉(zhuǎn)的,因此稱為行波磁場。

    顯然,行波磁場的移動速度與旋轉(zhuǎn)磁場在定子內(nèi)圓表面上的線速度是一樣的,即為Vs ,稱為同步速度(m/s),且
           Vs =2f

    再來看行波磁場對次級的作用。假定次級為柵形次級,次級導條在行波磁場切割下,將感應(yīng)電動勢并產(chǎn)生電流。而所有導條的電流和氣隙磁場相互作用便產(chǎn)生電磁推力。在這個電磁推力的作用下,如果初級是固定不動的,那么次級就順著行波磁場運動的方向作直線運動。若次級移動的速度用v表示,移動的差率(簡稱移差率)用s表示,則有:
        
      s=
         
     Vs-V=sVs
         
     V=(1-s)Vs

其中,在電機運動狀態(tài)下,s在0與1之間。          

3  PMAC+PC下的直線電機PID控制

    直線電機的負載與直線電機的定子相連,負載的變化和外部擾動直接影響伺服系統(tǒng)的性能。因此,直線電機的控制需要采用閉環(huán)控制這種高精度的伺服控制。   
PMAC提供的是PID+前饋控制的控制算法,其算法流程圖如圖2所示。



圖2   PID伺服調(diào)節(jié)器結(jié)構(gòu)圖

    在圖2控制算法中,各參數(shù)所代表的變量分別如下:

    Kp:比例增益(Ix30); Kd:微分增益(Ix31);Kvff :速度前饋增益(Ix32);Ki:積分增益(Ix33);IM:積分模式(Ix34);Kaff :加速度前饋增益(Ix35)。

    PID伺服調(diào)節(jié)是通過設(shè)定不同的I變量來實現(xiàn)的。計算公式如下:

    DACout(n)=2-19*Ix30*[{Ix08*[FE(n)+(Ix32*CV(n)+Ix35*CA(n))/128+Ix33*IE(n)/223]}-Ix31*Ix09*AV(n)/128]

    其中:DACout(n)是伺服周期n中16位輸出命令(-32768到+32767)。它將轉(zhuǎn)換成-10V到+10V的電壓輸出。DACout(n)的值由Ix69定義。Ix08是電機X的一個內(nèi)部位置放大系數(shù)(通常設(shè)為96)。Ix09是電機X的速度環(huán)的一個內(nèi)部放大系數(shù)。FE(n)是伺服周期n內(nèi)所得的跟隨誤差,即該周期內(nèi)指令位置和實際位置的差值[CP(n)-AP(n)]。AV(n) 是伺服周期n內(nèi)的實際速度,即每個伺服周期最后兩個實際位置的差值[AP(n)-AP(n-1)]。CV(n) 是伺服周期n內(nèi)的指令速度,即每個伺服周期最后兩個指令位置的差值[CP(n)-CP(n-1)]。CA(n) 是伺服周期n內(nèi)的指令加速度,即每個伺服周期最后兩個指令速度的差值[CV(n)-CV(n-1)]。IE(n)是伺服周期n的跟隨誤差的積分,大小為:


4 直線電機的PID控制實驗

    4.1 PID 濾波器工作原理

    傳統(tǒng)的伺服系統(tǒng)是根據(jù)反饋控制原理來設(shè)計的,很難達到無跟隨誤差控制,亦很難同時達到高速度和高精度的要求。PMAC作為全數(shù)字伺服系統(tǒng),它利用計算機的硬件和軟件技術(shù),采用新的控制方法改善系統(tǒng)的性能,可同時滿足高速度和高精度的要求。系統(tǒng)的位置、速度和電流的校正環(huán)節(jié)PID控制由軟件實現(xiàn)。引入了前饋控制,實際上構(gòu)成了具有反饋-前饋的復(fù)合控制的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),使位置跟蹤滯后誤差大為減小,提高了位置控制精度。這種系統(tǒng)在理論上可以完全消除系統(tǒng)的靜態(tài)位置誤差、速度誤差、加速度誤差以及外界擾動引起的誤差,即實現(xiàn)完全的“無誤差調(diào)節(jié)”。

    為了獲得良好的穩(wěn)態(tài)特性和動態(tài)特性以滿足系統(tǒng)對位置控制精度的要求,需要對系統(tǒng)的控制環(huán)進行校正和調(diào)整。在整個系統(tǒng)中,它對系統(tǒng)的影響是巨大的,所以當系統(tǒng)的基本特性(包括機械傳動、電動機選型等)確立以后,就需要對系統(tǒng)的控制環(huán)進行調(diào)整,也稱為校正。即通過伺服環(huán)濾波器的調(diào)節(jié),根據(jù)被控物理系統(tǒng)的動力學性能對伺服環(huán)參數(shù)進行設(shè)置,達到系統(tǒng)伺服特性剛性好、系統(tǒng)穩(wěn)定及跟隨誤差小的目的。

    4.2 PID濾波器的調(diào)節(jié)

    為適用于PC及其兼容機的PMAC執(zhí)行程序,PEWIN32提供了一個調(diào)節(jié)PID+速度/加速度前饋+NOTCH濾波器參數(shù)的比較容易的方法。

    在用階躍響應(yīng)調(diào)節(jié)好PID 參數(shù)后,保持這些參數(shù)不動的情況下,采用正弦波響應(yīng)來調(diào)整前饋,并選取“速度”和“跟隨誤差”這兩項。

    步驟如下:

    準備階段及初始化  正確連接光刻機控制系統(tǒng),安裝PEWIN32執(zhí)行軟件,使主機與PMAC正常通信,并對PMAC進行初始化設(shè)置和簡單手動操作。

    (1)使所有電機閉環(huán)    使用#1j/、#2j/和#4j/在線命令使電機閉環(huán)。

    (2)輸入正弦波運動大小和運動時間,按下“Do a Parabolic”鍵 ,執(zhí)行一個正弦波響應(yīng);

    (3)等待主機下傳數(shù)據(jù),進行數(shù)據(jù)采集并將采集到的數(shù)據(jù)畫成曲線與命令曲線比較。觀察響應(yīng)曲線,包括速度系數(shù)、平均速度誤差、加速度系數(shù)、平均加速度誤差、最大誤差和各種變量值;

    (4)增大Ix32,重復(fù)響應(yīng)過程,直到跟隨誤差曲線形狀看起來像方波。在“What To Plot”框中選擇“加速度”和“跟隨誤差”。加入 Ix35 ,觀察響應(yīng)曲線和數(shù)據(jù)值的變化,如果看不到相關(guān)變化,增加運動長度或減少運動時間。繼續(xù)增加Ix35,直到所有系數(shù)保持為正。此時跟隨誤差很小,大部分是由于噪聲或機械摩擦引起的;

    (5) Ix34 = 1,增大Ix32,調(diào)整Ix35,直到得到理想的響應(yīng)曲線。  
 



圖3   PMAC的PID+前饋調(diào)整界面



 圖4   前饋調(diào)節(jié)后正弦波響應(yīng)曲線

    實驗結(jié)果表明,通過PID參數(shù)的調(diào)節(jié)使光刻機系統(tǒng)獲得較好的動態(tài)性能和穩(wěn)態(tài)性能。

5 結(jié)束語

    本文主要利用直線電機作為光刻機控制系統(tǒng)的快速伺服進給單元,實現(xiàn)光刻機的零傳動,通過PID+前饋控制法對直線電機的控制,使直線電機進給系統(tǒng)能夠獲得良好的動態(tài)和穩(wěn)態(tài)性能,為直線電機及PMAC在高速高精度控制系統(tǒng)的應(yīng)用打下了基礎(chǔ)。

    其它作者:劉文杰(1966-),江蘇蘇州人,碩士生導師,博士,副教授   研究方向為機電一體化;梁林祖(1980-),山東德州人 ,碩士研究生,   研究方向為機械設(shè)計。

參考文獻: 

    [1]北京元茂興設(shè)備技術(shù)有限責任公司.PMAC用戶指南

    [2]北京元茂興設(shè)備技術(shù)有限責任公司.PMAC軟件說明

    [3]楊更更,葉佩清,揚開明,等.基于PMAC的數(shù)控系統(tǒng)PID參數(shù)自適應(yīng)調(diào)節(jié)[J].機械工程師,2002(4)

    [4]吳玉厚,潘振寧,張珂,高玉山.PMAC控制器中PID調(diào)節(jié)的應(yīng)用[J].沈陽建筑工程學院學報(自然科學版),2004(20)2.

    [5]朱華征,范大鵬,龐新良.基于可編程多軸控制器的三軸轉(zhuǎn)臺控制系統(tǒng)[J].兵工自動化,2004(23)1.

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