1. 概述
ZDR數(shù)顯電阻真空計,是目前國內(nèi)的新型真空計測量儀器,它采用微機控制、數(shù)字顯示,具有測量精度高,控制準確方便,顯示直觀的特點,它的測量是范圍是1×105~1×10-1pa,適用于測量范圍寬,反映靈敏的粗、低真空的測量.它不僅可以代替指針式真空表作遠距離觀察,它還具有控制功能。我們應(yīng)用此真空計來控制我公司菊酯生產(chǎn)線羅茨真空泵的開、停機。
2. 工作原理
電阻計的工作原理是基于在低壓強,利用氣體分子的熱傳導,在高壓時,利用氣體分子的對流傳熱特性,使得電阻規(guī)的電阻隨所測系統(tǒng)的壓強變化而變化。電阻規(guī)的電阻與壓強的變化是一種非線性關(guān)系,鑒此本機采用微機對此線性進行誤差修正,從而提高了測量精度。
由壓強變化所引起的電阻規(guī)電阻值的變化,由測量橋路輸出電壓信號,由放大器放大,經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換換入微機進行非線性處理,最后送顯示器顯示。其工作原理框圖如下
3.零點、滿度校準
由于電阻規(guī)制度時材料、工藝、裝置等方面的因素,不同電阻規(guī)的性能有差異。因此,在使用新的電阻規(guī)時,需對該電阻規(guī)的性能連同儀器進行進行零點和滿度的校準,以減少測量誤差。其方法如下:首先校準零點,對被測真空系統(tǒng)抽真空,確定被測真空度高于1.0E