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案例頻道鐘新華，彭立波，易文杰 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
摘要：劑量控制器是離子注入機(jī)的核心部件，主要功能有精確測量離子注入機(jī)束流與注入劑量，控制離子束在電場中水平運(yùn)動，并使離子均勻地分布在水平方向和同步垂直掃描運(yùn)動完成離子注入的劑量控制。基于這些功能要求，本文提出了一種高精密、多功能和程控式的離子注入機(jī)劑量控制器。首先介紹了離子注入機(jī)劑量控制器工作原理和功能，然后，詳細(xì)地闡述劑量控制器的系統(tǒng)構(gòu)成和各功能模塊設(shè)計及功能實(shí)現(xiàn)。此控制器按功能主要分為多通道、多級量程的高精度束流與劑量測量模塊、掃描波形控制模塊、垂直掃描同步信號檢測與控制模塊等。最后，通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了此離子注入機(jī)劑量控制器的性能達(dá)到設(shè)計要求。
關(guān)鍵詞：離子注入；劑量控制；掃描波形；位置同步
在線預(yù)覽：離子注入機(jī)劑量控制器設(shè)計
摘自《自動化博覽》2016年10月刊
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號